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    技術文章

    真空管式電阻爐裝箱配置

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    真空管式電阻爐,具有合理的性能設計,集多項功能于身,安全性,可靠性,實用性均達理想效果。
    1.溫度1700,加熱區為300mm
    2.爐體采用雙層爐殼結構,雙層爐殼之間裝有風機,可以快速升降溫,爐殼表面溫度低。 
    3.
    爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。
    4.爐膛材料采用的進口氧化鋁是多晶纖維真空吸附制成,節能50%,加熱爐膛為體化,方便取放實驗物料、更換爐管。加熱元件采用硅鉬棒。
    5、電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術,儀表控制度為±1,具有PID調節、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序,具有超高溫報警功能,具有熱電偶損壞斷電功能,具有內置參數密碼控制功能。
    6、升溫速度為0-20/min,可編寫30段的自動升溫程序,可控硅控制,配備數顯的LED電壓表、電流表,選用B型熱電偶。
    7、可選配RS-485通訊接口,數據管理軟件,具有無紙記錄歷史數據和升溫曲線,校正溫度的偏離誤差的功能,可以管理多臺設備和遠程故障的診斷分析。
    8、多種安全防護設計,安全性能好,使用壽命長。
    9、電爐可以抽真空、通氣氛,真空度可以達到10pa(機械泵),如果需要更高真空度可以選擇分子泵,達到6.67x10-3pa
    10、爐體尺寸:704x695x1100mm(深xx高),重量:210kg
      真空管式電阻爐標準配置:
    1304的不銹鋼法蘭1
    2、密封圈4
    3、爐塞 4
    4、爐勾 1
    5、說明書、保修卡、合格證 1
    6、剛玉管 1
      選配配置:
    1、玻璃轉子流量計、質子流量計和進出口管道
    2、真空泵(機械泵、分子泵)
    3、安裝調試,培訓
    4、剛玉坩堝
    5、備品備件
    6、報警器(超溫、設備異常)與蜂鳴器(設備運行結束提示
    7、自動進氣(氣體保護)、自動放氣(超壓)、自動抽真空
    8、路及多路CVD供氣系統

     




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